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iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修
更新時(shí)間:2021-10-11   點(diǎn)擊次數(shù):1727次

iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修


iH1800 干式泵 230V,60 Hz,3 相

A59040957

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l


 

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

A59060945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l



所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相

A59042908

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l


 

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

A59042945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                     502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機(jī)額定功率             7.0 kW

油容量                  1.6 l

 

 

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

A59042946

技術(shù)數(shù)據(jù) 

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                    1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機(jī)額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l


 

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相

A59042957

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                    502 kg

極限功率輸入            4.1 kW

電機(jī)額定功率                   7.0 kW

油容量                       1.6 l


 

所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。



iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

A59062945

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機(jī)額定功率              7.0 kW

油容量                        1.6 l



所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。

通過增加正常運(yùn)行時(shí)間、減少對(duì)環(huán)境的影響以及良好的成本效益,iXM 低能耗干泵可為您的關(guān)鍵應(yīng)用帶來真正的制程改進(jìn)。


高效的根源機(jī)制可將輸入功率減少多達(dá) 60%,從而減少對(duì)環(huán)境的影響并降低總體使用成本

氣體阻隔技術(shù)和隔熱設(shè)計(jì)方面的改進(jìn)使產(chǎn)品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍

先進(jìn)的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性,延長(zhǎng)真空泵使用壽命,并降低 CVD 工藝的功耗

緊湊輕巧的設(shè)計(jì),加上極低的噪聲和振動(dòng),可提供更多的用途

采用 Xcede 技術(shù),增強(qiáng)了耐腐蝕性。


半導(dǎo)體干泵用于重型應(yīng)用的 iXH 系列


iXH 干泵系列為嚴(yán)苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。



寬廣的溫度范圍使您可以對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化,更大地減少冷凝和電鍍的副產(chǎn)物累積

iXH Mk2 干泵可在嚴(yán)苛的工藝中提供更長(zhǎng)的使用壽命,并且可以顯著提高功效

創(chuàng)新的密封技術(shù)可以延長(zhǎng)制程壽命并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)

采用 Xcede 技術(shù),增強(qiáng)了耐腐蝕性。


iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修

東莞市鴻鑫真空設(shè)備有限公司

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